产品特点

  • 可以生长超过6英寸的晶体
  • 正压设计，腔体压力可达180 kPa，减少溶液挥发
  • 腔体内壁抛光处理，减少附着力，实现高真空
  • 两级设计，方便保持腔内清洁
  • 更精准的控压技术，长晶工艺压力波动<5Pa
  • 双加热系统设计可在解决方案内提供更均匀的温度场
  • 籽晶轴、坩埚轴冷却水流量可精确控制，温度场更稳定
  • 具有籽晶旋转升降、坩埚旋转、加热线圈升降功能
  • 籽晶旋转和坩埚旋转模式可编程，方便技术开发
  • 独特的工艺气体引入设计，使工艺气体可以直接传递到种子的背面
  • 高精度传动部件，重复定位偏差<10μm
  • 自主开发的控制系统，丰富的公式编辑界面，操作权限分级，可远程控制

技术参数

腔室内部尺寸
Φ900×1200mm
主加热圈功率
100kW
热场最大直径
520mm
最高温度
2200℃
籽晶提取速度
处理速度：0.01-0.5mm/h
快速移动速度：6-300mm/min
籽晶旋转
1-100rpm，旋转模式可编程
坩埚转速
1-100rpm，旋转模式可编程
卷材升降速度
处理速度：0.01-5mm/h
快速移动速度：6-300mm/min
电源接口
3P 380VAC，112kVA
3P 380VAC，24kVA
3P 380VAC，15kVA
气源
Ar、He、N2，压力＞0.2MPa
压缩空气、压力0.4-0.6MPa
冷却水
压力0.3-0.5MPa
流量200L/min
尺寸
1800×1500×4400mm（不包括坩埚拆卸绞车和平台）
4080×3050×4400mm（包括坩埚拆卸绞盘和平台）
重量
4000kg