产品用途

  • 晶圆刻蚀用下电极用加工原材料。

技术参数

外径
Φ300～Φ475mm
内径
客户定制
晶向
(100), (111)
型号/掺杂剂
P/硼
电阻率 (Ω.cm)
≤0.01~100
厚度
客户定制
其他
客户定制