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硅 盘
采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品,主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。
产品用途
晶圆刻蚀用上电极用加工原材料。
技术参数
外径
<Φ475mm
晶向
(100), (111)
型号/掺杂剂
P/硼
电阻率 (Ω.cm)
≤0.01~100
厚度
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其他
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